Установки травления и напыления

Просмотр в международном научном подразделении «Международная научная лаборатория нелинейно-оптических молекулярных кристаллов и микролазеров»

Установка для вакуумного и магнетронного напыления серии Scancoat Six (Канада), 

Вакуумная напылительная установка (производства Structure Probe, Inc., США).

Установка плазмохимического травления RIE-1701.