Установки травления и напыления
Установка для вакуумного и магнетронного напыления серии Scancoat Six (Канада),
Вакуумная напылительная установка (производства Structure Probe, Inc., США).
Установка плазмохимического травления RIE-1701.
Установка для вакуумного и магнетронного напыления серии Scancoat Six (Канада),
Вакуумная напылительная установка (производства Structure Probe, Inc., США).
Установка плазмохимического травления RIE-1701.