Научная
деятельность
Университет ИТМО

Меню

Сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instrument

Просмотр в международном научном подразделении «Международный научный центр функциональных материалов и устройств оптоэлектроники и электроники»

Для автоматического измерения количества поверхностных дефектов гетероструктур может применяться промышленно выпускаемый сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instruments.

Сканер поверхности позволяет бесконтактным способом быстро измерить общее количество и плотность дефектов на пластине, карту расположения дефектов и дефектов «haze» по поверхности пластины с координатной X-Y адресацией, гистограмму распределения количества дефектов по размерам.