Научная
деятельность
Университет ИТМО

Меню

Вакуумные напылительные установки "ВАТТ 450ГЭ-ОПТИК", "ВАТТ 450МС" и "ВАТТ 450Пх" (компания "Ферри Ватт", Россия)

Просмотр в международном научном подразделении «Лаборатория "Нелинейная оптика конденсированных сред"»

Установки обеспечивают возможность создания поверхностных наноструктур самыми распространенными способами - термическим напылением (распылением лазером горячей мишени, ВАТТ 450ГЭ), магнетронным распылением (в инертном газе без нагревания мишени, ВАТТ 450МС), а также осаждением из газовой фазы (т.е. методом газофазной эпитаксии, ВАТТ 450Пх).