Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия
Система AIST SmartSPM™ позволяет проводить СБОМ-измерения посредством волокна или кантилевера в контактном режиме и режиме плоского сканирования (полета над поверхностью) в геометрии на отражение. | Система AIST CombiScope позволяет проводить СБОМ-измерения посредством волокна в контактном режиме и режиме плоского сканирования (полета над поверхностью) в геометрии пропускания. |
В обоеих конфигурациях СБОМ-измерения могут проводиться в геометрии возбуждения и в геометрии сбора. В качестве возбуждающих лазеров используются:
- гелий-неоновый лазер (633 нм) , мощность до 30 мВт,
- твердотельный лазер с диодной накачкой (532 нм), мощность до 80 мВт,
- лазерный диод (405 нм), мощность до 75 мВт.
В качестве высокочувствительного детектора используется фотоэлектронный умножитель Hamamatsu H10722.