Научная
деятельность
Университет ИТМО

Меню

Вакуумное оборудование для напыления и нанесения покрытий

Просмотр в международном научном подразделении «Международная научная лаборатория современных фотонных материалов и технологий»

  • Вакуумная установка Citation 1.2M для нанесения тонких и толстых оптических покрытий на крупногабаритные оптические элементы диаметром до 1200 мм (фирма Vacuum Process Technology LCC).

Citation

  • Вакуумная камера UNIVEX 450 (фирма Leybold AG).

http://www.tevak.cz/data/T/r/k/univex450B.jpg Основные области применения: 

- Вакуумное напыление в исследованиях и разработках 
- Предварительные производственные испытания 
- Специальные эксперименты 

Преимущества данной установки: 
- Модульная конструкция системы 
- Удобный доступ к основным узлам вакуумной камеры 
- Установка очень проста в эксплуатации 
- Система откачки адаптирована для индивидуального использования 
- Возможность высокочастотного распыления 

Система откачки включает в себя: 
- Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос TRIVAC D 65 B 
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC 1100 С